供酸系統/Chemical System

本化學供應系統用於整廠中央化學供酸系統。

利用小空間達到供酸的需求。

透過管路供應給多處化學站。

化學站之操作人員可利用遠端控制箱(Remote Control Box)了解系統目前之狀況是否可以供酸(Option)。利用訊號線傳遞要酸訊號,自動供酸,不需人工操作(Option)。

當機台內酸桶重量不足時,控制面板之Trouble燈號亮,自動停止供酸,同時Buzzer鳴叫(可以按Silence鍵使Buzzer停止鳴叫),Empty警示燈持續閃爍,提醒操作人員更換新桶,直到新桶更換完畢,磅秤讀取到設定低點以上重量時Empty警示燈停止閃爍。

利用雙組Pump及單Filter系統,具Chemical Drum過濾循環功能;且當一組當機或維修時,另一組也可備用啟動。

具有Bottle取樣檢測功能。

Gas Supply System & Piping

Gas Cabinet

VMB / VMP

SCRBBER

Chemical Supply System & Piping

Vacuum Piping

PLC Program Design

FPD CLEANER